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当产量提高与性能需求的问题同时出现时,透镜表面和透镜半径制作从而变得越来越关键和困难。用于DVD播放机、手机、CD ROM、内窥镜、数码相机和其他高产量产品所需的光学元件需求量正快速增长,同时所要求的性能规格也越来越严格。然而,这些产品越来越轻薄短小,所以在每一道生产工序上也就越来越不易控制其性能。在光学性能检测上所遭遇了挑战,其中包括:光学表面形态、光学表面半径、球面镜和非球面镜的发射波阵,以及多透镜光学系统的光学性能检测;制造商也遇到了必须解决影响产品质量下降的一系列问题,例如发生过度或欠缺抛光、光学模具损耗、材质变动与组装公差等等问题。
PTI 250 是一套稳定且易于使用的干涉仪,可以提供透镜和透镜系统的3维表面形态面和波阵图及透镜曲率半径与检测。根据不同的应用需求PTI 250系列分为:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250VPTI 250FTM。这是一套小型干涉仪系统,其与ZYGO公司所制造的干涉仪(也是世界标准)一致。PTI 250 是纯正的ZYGO干涉仪,同时还提供易于使用和可靠的测量方法且有很好的投资报酬率,极适合高产量生产控制,同时也可作为科研人员研发使用。
在使用时有如下特性 • 25mm孔径干涉仪附带涵盖许多应用范围的系列光学配件 • 操作方便且快速的干涉条纹对准系统手动孔径调焦降低边缘衍射并加强性能 • Z轴手动粗调300mm与微调30mm直接与世界标准的ZYGO GPI 及VeriFire 干涉仪进行校准 • 配有高精度、高可靠度且易于使用的温控半导体激光器 • 可选用垂直、水平或向上方式的测试座提供未来产品升级需要与附件使用 • 根据不同的应用需求PTI 250系列分为:PTI 250RS, PTI 250P, PTI 250F, PTI 250V
图示:美国ZYGO PTI 250激光干涉仪
规格 PTI 250RS • 具备研究用干涉仪所需要的高功能性及灵活性。 • 在2秒内,可产生多于300,000个像素的定量三维图。 • 位相测量干涉仪,精度大于λ/100。 • 采用FlashPhase数据采集方法,在不稳定及有振动的环境下仍能测量 • 采用标准的Zygo MetroPro界面――干涉检测的国际标准。 • 可测曲率半径 (选用)。 PTI 250P • 生产用位相调制干涉仪。 • 可产生多于300,000个像素的定量表面形态图。 • 位相测量干涉仪,精度大于λ/100。 • 采用MetroPro软件,多语言支持的操作界面。 • 可测曲率半径 (选用)。 PTI 250F • 经济实用的生产用位相调制干涉仪。 • 采用FlashPhase数据采集方法可在干扰较大的生产环境下进行可靠测量。 • 可产生多于300,000 个像素的定量表面形态图。 • 采用FlashPhase作位相测量。 • 采用标准的Zygo MetroPro 软件,多语言支持的操作界面。 • 可测曲率半径 (选用)。 PTI 250V • 生产用快速检测干涉仪。 • 目测条纹方式,检测产品。 • 可测曲率半径 (选用)。 • 可升级到PTI 250F 和PTI 250P 。 主要技术参数 仪器类型 具有相位测量功能的小型Fizeau 型生产用干涉仪。 数据采集 FlashPhaseeTM 应用范围 小球面和平面检测。表面状态的定量测量,传输波阵面测量及半径测量。测量方向 垂直向下测量。 测试光源 Class I级 655 nm 半导体激光 测试光直径 25 mm CCD采集 640 x 480 像素调焦范围 ±250 mm 手动可调 调准方式 配合集成型LCD双光点对准 观察方式 计算机实时图像显示 计算机 高性能个人电脑,硬盘、 CD-ROM 和17"显示器 软件 Microsoft Windows XP专业版下的ZYGOPTI 250 软件 电源 100 - 240 VAC, 50/60 Hz 尺寸与重量尺寸(高x 宽x长) 686 x 203 x 356 (mm) 重量 33 kg 性能参数测量不确定度1 平面测试: λ/20 球面测试: λ/10RMS 重复性2 λ/2000 (1σ)RMS 精度3 λ/500 (1σ) 环境要求温度 15°C - 35°C (60°F - 95°F) 温差变化 |
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